Проектный расчет стола для электростатического удержания кремниевых пластин

10.03.2025
#новости компании
Обложка статьи

Расчет стола для электростатического удержания кремниевых пластин.

  • Проведен расчет теплового баланса по разработанной методике. Определены параметры жидкостного охлаждения для обеспечения требуемых температур технологического процесса обработки кремниевых пластин.
  • Проведен термопрочностной расчет конструкции стола.